Cuno BetaPure CMP

Filtro 3M Betapure CMP Series

Cartuchos 3M ™ Betapure ™ CMP filtros e cápsulas, anteriormente conhecido como Cuno Optima CMP, são filtros de profundidade de alta capacidade otimizados para óxido de metal e suspensões utilizadas em aplicações planarisation mecânico-químico (CMP).
Filtros Betapure CMP são compostas de componentes em polipropileno e possui um multi-zona de design "gradedporosity" para o melhor nível de classificação de partículas.
Esta construção oferece maior características de caudal, incluindo queda de pressão baixa para minimizar a ruptura do chorume, proporcionando vida útil superior.
A filtração de suspensões de CMP é um processo difícil, em comparação com o de filtração de alta pureza produtos químicos usados ​​na fabricação electrónica. Filtração de alta pureza química é normalmente realizada utilizando 0,2 micron ou mais apertadas de filtros de membrana que têm uma remoção de partículas de corte afiado com o tamanho de poro nominal.
A maioria das suspensões CMP conter um tamanho médio de partícula desejado que varia 0,03-0,2 micron.
Consequentemente, o filtro que foi projetado especificamente para partículas esclarecimento de produtos químicos de alta pureza iria retirar as partículas desejadas e afetar negativamente as características de polimento do chorume CMP.

Características e benefícios

• Remoção de contaminantes Superior gel duros e moles, para defectivity reduzida e melhores rendimentos
• Alta capacidade de retenção de contaminantes reduz o tempo e aumenta a eficácia geral de equipamentos
• Os lters i são "combinados" para a pasta fornecer o melhor nível de desempenho necessário para reduzir drasticamente as partículas de defeitos causando
• Fornece uma gota de baixa pressão reduzindo a possibilidade de l uid cisalhamento da suspensão
• Extraíveis cápsula baixos, livre de adesivos, agentes aglutinantes e surfactantes
• Excelente compatibilidade química com suspensões altas e baixas de pH
• Sistema de gestão da qualidade ISO ed certii
• Fabricado e double-ensacado em um ambiente limpo para proporcionar limpeza downstream superiores fora do pacote
• Fornece uma qualidade consistente de suspensão que permite a repetibilidade do processo planarization
• instalação rápida
• Tempo de inatividade reduzido
• Redução da manipulação de produtos químicos perigosos

Condições de Operação

• Temperatura máxima de operação de 60 ° C (140 ° F)
• Pressão diferencial máxima de 5,2 bar (75 psi)

Aplicações típicas

• Semiconductor
• O armazenamento de dados
• A transmissão de dados
• composto de semicondutores

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